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SSA600/20步進掃描投影光刻機空氣彈簧隔振器的結(jié)構(gòu)形式

來源:上海松夏減震器有限公司????發(fā)布時間:2023-05-31 10:16

空氣彈簧隔振器關鍵分為兩類:布袋氣簧和薄膜式氣簧。在當今的機械設計環(huán)節(jié)中,彈簧可以像齒輪一樣做為標件,依據(jù)荷載的重量和幾何安裝尺寸挑選相應的空氣彈簧隔振器。
1.因為空氣彈簧隔振器具備非線性特性,能夠設計出各種特性曲線來滿足不同性能要求。
2.空氣彈簧隔振器的橡膠體比較輕,空氣指數(shù)也很小。彈簧的重量主要來源于頂蓋和下蓋,與鋼彈簧不同,金屬品質(zhì)相對較重。
3.空氣彈簧隔振的承載力可根據(jù)橡膠氣囊里面的打氣壓力進行調(diào)整。針對同一氣簧,打氣壓力的大小可以調(diào)節(jié),以滿足不同承載力的需要。
4.因為空氣彈簧隔振器以氣體為彈性介質(zhì),縮小時內(nèi)摩擦小,減振特性不錯。
5.實驗說明,一般鋼板彈簧可承受的應力循環(huán)次數(shù)為50-60千次,一般彈簧可承受的應力循環(huán)次數(shù)約為300千次,高性能彈簧可承受的應力循環(huán)次數(shù)超出500千次。因而,空氣彈簧隔振器在抗應變中起到重要意義。
6.但是,空氣彈簧隔振器減震器的制造工藝繁雜,成本高。
SSA600/20步進掃描投影光刻機空氣彈簧隔振器的結(jié)構(gòu)形式
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